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NEW-COSMOS新宇宙 便攜式半導(dǎo)體氣體檢測(cè)儀用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠(chǎng)中半導(dǎo)體材料氣體的泄漏
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NEW-COSMOS新宇宙 便攜式半導(dǎo)體氣體檢測(cè)儀
用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠(chǎng)中半導(dǎo)體材料氣體的泄漏
世界上很小的便攜式氣體檢測(cè)儀,用于 NF3 檢測(cè)。無(wú)需任何可選設(shè)備即可檢測(cè) NF3。
校準(zhǔn)后的氣體傳感器單元可在現(xiàn)場(chǎng)更換,減少維護(hù)工作。
大液晶屏
2路電源:干電池和交流電源(可選)
小巧輕便
警報(bào)聲音的速度根據(jù)氣體濃度而變化。
NEW-COSMOS新宇宙 便攜式半導(dǎo)體氣體檢測(cè)儀
檢測(cè)原理 | 電化學(xué)、電化學(xué)+裂解器 |
目標(biāo)氣體 | 半導(dǎo)體氣體 |
取樣方法 | 萃取 |
測(cè)量范圍 | 根據(jù)交貨規(guī)格 |
精度 *1 | ±10%F.S. XDS-7NF 除外 -30%F.S. 至 +10%F.S. XDS-7NF |
響應(yīng)時(shí)間 *1 | T60:少于 60 秒 |
顯示 | 液晶屏上的四位數(shù) |
電源 | 堿性AA電池x 4節(jié)或?qū)S?00-240VAC / 6VDC適配器(可選)*3 |
連續(xù)運(yùn)行時(shí)間*2 | 超過(guò) 12 小時(shí)(XDS-7NF 除外) XDS-8NF 超過(guò) 7 小時(shí)(使用堿性 AA 電池 (東芝 LR6AN)在 20°C 下,無(wú)氣體報(bào)警) |
工作溫度和濕度 | 0 至 +40oC, 30 至 85%RH |
合規(guī) | CE (EMC: 2014/30/EU) *3 *4 |
尺寸 | 約 W62 × H150 × D128 mm(不包括突起) |
質(zhì)量 | 約 1.3 千克 |
*1.在相同的條件下。
*阿拉伯?dāng)?shù)字。工作時(shí)間(電池壽命)可能因環(huán)境和使用條件、存儲(chǔ)期限、電池制造商等而異*
2。交流電源適配器不符合CE標(biāo)志。
*3.有兩種類(lèi)型的EC-4傳感器儲(chǔ)存器,全球和國(guó)內(nèi)(在日本使用)。全局類(lèi)型帶有 CE 標(biāo)記。
氨[NH3],硅烷[SiH4],二氯硅烷[SiH2Cl2],砷烷[AsH3],膦[PH3],[B2H6],硒化氫【H2Se】,鍺烷【GeH4】,氯[Cl2],【ClF3],氯化氫【HCI】,氫氟化物【HF],溴化氫【HBr】,一氧化氮【NO】,硫化氫【H2S】,一氧化碳【CO】,二硅烷【Si2H6】,氟【F2】,臭氧【O3】,三氟化氮【NO3】
半導(dǎo)體氣體檢測(cè)儀PS-7
氣體檢漏儀XP-703DIII
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