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2024-11-19 產(chǎn)品中心/ products
SAKAGUCHI坂口電熱ExLASER激光ExLASER激光®ExLASER®是一種多功能激光平面瞬時(shí)加熱裝置。
產(chǎn)品型號(hào)：EXL-CT-010-DS55廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2024-08-10訪 問 量：284
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SAKAGUCHI坂口電熱ExLASER激光
ExLASER激光®
ExLASER®是一種多功能激光平面瞬時(shí)加熱裝置。
長(zhǎng)處
可實(shí)現(xiàn)超快的溫度上升和下降。
一次均勻加熱 2 英寸基板
只有被加熱的物體才能直接加熱。
可根據(jù)工藝進(jìn)行溫度控制
在不加熱大氣的情況下節(jié)能
應(yīng)用實(shí)例
MBE設(shè)備的基板加熱
晶圓退火（SiC、GaAS等）
可以對(duì)多層器件進(jìn)行表面退火（與小型化器件兼容）
日本原子能機(jī)構(gòu) 日本
激光功率：100W
尺寸：H251×W200×D253（mm）
使用 EXL-CT-010DS55，對(duì)安裝在真空室中的樣品進(jìn)行激光加熱。 溫度分布是從樣品的背面（與激光照射表面相反）測(cè)量的。
溫度分布藍(lán)寶石襯底溫度分布
（激光功率：1000W）
藍(lán)寶石
襯底溫度快速升降（平均襯底溫度）（激光功率：1000W）
溫度分布金屬板溫度
分布
（激光功率：86W焦點(diǎn)）
溫度傾斜圖 金屬板的溫度
| 型號(hào) EXL-CT-010-DS55 | |||
|---|---|---|---|
| 激光照射方式 | 直接型 | 機(jī)身尺寸 | 高 625mm ×寬 700mm ×深 320mm |
| 激光功率 | 高達(dá) 1kW | 附屬品 | 專用冷水機(jī)組 |
| 激光波長(zhǎng) | 808納米 | 額定 | 主機(jī)：1P200V20A 冷水機(jī)：1P200V15A |
| 激光幾何形狀 | 廣場(chǎng) | ||
| 光學(xué)（均勻性） | 均質(zhì)機(jī) （±5%） | 言論 | JST原創(chuàng)建模 開發(fā)產(chǎn)品（FY17） |
| 加熱區(qū) | □ 55mm | ||
| 工作距離 | 400毫米~ | ||
* 以上為標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格。 可根據(jù)客戶要求進(jìn)行更改。
真空室
溫度控制單元 ?輻射溫度計(jì) ?數(shù)字指示控制器
?紅外線傳輸窗口
PCB 支架（用于 2 英寸板）
用于組合專用基板支架的光學(xué)系統(tǒng)（與□10mm板兼容）
各種襯底（藍(lán)寶石、硅、砷化鎵等）
SAKAGUCHI坂口電熱ExLASER激光
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