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HONDA本多電子 石英振動體清洗機實現(xiàn)低損傷和高清潔度的新一代清潔，具有小型化圖案的晶圓，具有低損傷 ■ 超聲波疊加在石英振動體上，清洗半導(dǎo)體晶圓通過化學(xué)溶液將超聲波振動從石英振動器傳播到半導(dǎo)體晶圓，接觸點處的化學(xué)溶液振動，加速度去除表面的污垢。■ 實現(xiàn)清潔清潔，減少對半導(dǎo)體晶圓的損壞通過使用石英與化學(xué)溶液接觸，與使用橡膠材料的設(shè)備（如填料）相比，不會出現(xiàn)橡膠的洗脫或磨損。
產(chǎn)品型號：W-357-1MQG-SKC廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2024-08-11訪 問 量：289
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HONDA本多電子 石英振動體清洗機
實現(xiàn)低損傷和高清潔度的新一代清潔，具有小型化圖案的晶圓，具有低損傷 ■ 超聲波疊加在石英振動體上，清洗半導(dǎo)體晶圓通過
化學(xué)溶液將超聲波振動從石英振動器傳播到半導(dǎo)體晶圓，接觸點處的化學(xué)溶液振動，加速度去除表面的污垢。
■ 實現(xiàn)清潔清潔，減少對半導(dǎo)體晶圓的損壞通過使用石英與化學(xué)溶液接觸，與使用橡膠材料的設(shè)備（如填料）相比，不會出現(xiàn)橡膠的洗脫或磨損。
2006年，我們成為一家將石英振動超聲波清洗裝置商業(yè)化的公司。在這種方法中，超聲波疊加在石英振動器上以清潔半導(dǎo)體晶圓。
與批量清洗和流水清洗相比，可以減少化學(xué)溶液的使用量，并且由于接液部件僅是石英玻璃和橡膠材料（如填料）不與液體接觸，因此可以保持高水平的清潔度。
此外，通過根據(jù)用途準(zhǔn)備石英振動器的形狀，可以根據(jù)需要進行有效的清潔，例如低損傷清潔、大面積清潔以及斜面（端面）和缺口（晶圓端面的切口）的清潔。
HONDA本多電子 石英振動體清洗機
由于配備了換能器冷卻功能，因此通過用氣體（氮氣等）冷卻換能器，可以穩(wěn)定連續(xù)運行，而不會出現(xiàn)頻率波動。此外，通過冷卻，溫度不會突然變化，使用壽命長。
磨邊后的抗蝕劑殘留物去除，灰化后的聚合物去除，CMP后的柵極電極清洗
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